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12.NF3具有很高的蝕刻速率和選擇性,因此NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體.在1個標準大氣壓下,NF3的沸點為-129.0℃,能與空氣中的水蒸氣反應生成HF、NO和HNO3.NF3可通過如下方法制備:
(1)氣-氣反應:常溫下,將OF2與干燥的空氣混合即得NO2和NF3
①原料OF2中氧元素的化合價為+2.
②已知反應中每消耗1molN2轉移7mol電子,配平反應:
6OF2+4N2+1O2═4NO2+4NF3
(2)氣-固反應:由于氣-氣反應容易腐蝕設備,研究人員提出用氣-固制備NF3
氣-固反應包括如下兩個步驟:
(NH43AlF6+6F2═2NH3+8HF+NH4AlF4   NH4AlF4+3F2═NF3+4HF+AlF3
①若有0.5mol(NH43AlF6完全氧化,則可制得NF333.6LL(標準狀況下).
②若要制備1.5mol NF3,共有9mol電子發(fā)生轉移.
(3)電解法:NF3電解制備工藝已經比較成熟,國外一些公司均采用點解熔融NH4F•xHF的方法制備NF4
①點解過程中陽極反應式為NH4+-6e-+3F-═NF3↑+4H+
②陽極上的主要副產物為F2(不考慮產物與電極材料的反應).
(4)NF3在空氣中泄露,還是易于發(fā)現的.判斷發(fā)生了NF3泄露的現象是觀察到有紅棕色氣體和白霧產生.

分析 (1)①原料OF2中氟的電負比氧強,所以氧元素的化合價顯正價,氟元素顯負價;
②由①知NF3中氮元素的化合價為+3,而反應中每消耗1molN2轉移7mol電子,用待定系數和得失電子守恒分析解答;
(2)①Ⅰ、(NH43AlF6+6F2═2NH3+8HF+NH4AlF4;Ⅱ、NH4AlF4+3F2═NF3+4HF+AlF3
消去中間產物NH4AlF4,Ⅰ+Ⅱ得總反應方程式為(NH43AlF6+9F2═3NF3+12HF+AlF3,同時得當有0.5mol (NH43AlF6完全被氧化可得1.5molNF3,根據V=nVm進行計算;
②由反應方程式(NH43AlF6+9F2═3NF3+12HF+AlF3可知,制備3molNF3,共轉移18mol電子,因此制備1.5molNF3,共有9mol電子發(fā)生轉移;
(3)①電解過程中陽極發(fā)生氧化反應;
②陽極上能發(fā)生氧化反應的微粒還有F-,所以F-發(fā)生氧化反應后得F2
(4)NF3與空氣中的水蒸氣反應的產物有HF、NO和HNO3,NO遇空氣呈紅綜色,同時氫氟酸、硝酸小液滴在空氣中產生白霧.

解答 解:(1)①由于氟的非金屬性強于氧的,氟和氧成鍵時共用電子對偏向氟,因此OF2中氧元素呈+2價,故答案為:+2; 
②OF2中氧元素呈+2價,同理知NF3中氮元素的化合價為+3,根據題意知OF2+N2+O2→NO2+NF3,設當有1molN2反應時,生成NO2xmol,NF3ymol,根據N原子守恒得x+y=2,根據得失電子守恒得4x+3y=7,聯立解得x=y=1,由此可知反應的化學方程式為6OF2+4N2+O2═4NO2+4NF3,故答案為:6,4,1,4,4;
(2)①Ⅰ、(NH43AlF6+6F2═2NH3+8HF+NH4AlF4;Ⅱ、NH4AlF4+3F2═NF3+4HF+AlF3
消去中間產物NH4AlF4,Ⅰ+Ⅱ得總反應方程式為(NH43AlF6+9F2═3NF3+12HF+AlF3,同時得當有0.5mol (NH43AlF6完全被氧化可得1.5molNF3,則V=nVm=1.5mol×22.4L/mol=33.6L,故答案為:33.6L;
②由反應方程式(NH43AlF6+9F2═3NF3+12HF+AlF3可知,制備3molNF3,共轉移18mol電子,因此制備1.5molNF3,共有9mol電子發(fā)生轉移,故答案為:9;
(3)①電解過程中陽極發(fā)生氧化反應,因為NF3是NH4+在陽極被氧化所得,電極反應式為NH4+-6e-+3F-═NF3↑+4H+,故答案為:NH4+-6e-+3F-═NF3↑+4H+;
②陽極上能發(fā)生氧化反應的微粒還有F-,所以F-發(fā)生氧化反應后得F2,故答案為:F2;
(4)NF3與空氣中的水蒸氣反應的產物有HF、NO和HNO3,NO遇空氣呈紅綜色,同時氫氟酸、硝酸小液滴在空氣中產生白霧,所以現象為:有紅棕色氣體和白霧產生,故答案為:觀察到有紅棕色氣體和白霧產生.

點評 本題考查氧化還原反應,為高考高頻考點,把握反應中元素的化合價變化為解答的關鍵,側重氧化還原反應中基本概念及轉移電子數目的考查,注意規(guī)律性知識的應用,題目難度不大.

練習冊系列答案
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